AURUNA® SC-22 Gold-Elektrolyt

Cyanidfreier Gold-Elektrolyt für die Halbleiterindustrie

Der cyanidfreie Goldelektrolyt AURUNA® SC-22 wurde speziell für Anwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt. Der Elektrolyt basiert auf Natriumgoldsulfit und zeichnet sich durch eine stabile, ammoniakfreie Formulierung mit einem breiten Arbeitsfenster und einfacher Handhabung aus. Der Elektrolyt ist pH-neutral bis leicht alkalisch (pH 7,5 - 9) und hat aus diesem Grund eine hohe Resistkompatibilität.

Die abgeschiedene Goldschicht weist eine Reinheit von 99,9 % auf und ist frei von Poren und strukturellen Defekten. Sie besitzt eine feinkörnige Mikrostruktur mit guter Planarität und gleichmäßiger Schichtdickenverteilung, auch an komplexen Geometrien. Die Oberfläche ist glatt mit einer Rauheit zwischen 5 und 40 nm, die Kanten sind scharf und präzise ausgebildet. Die Härte der Schicht liegt typischerweise bei ca. 180 HV direkt nach Abscheidung. Durch eine nachträgliche Wärmebehandlung liegt die Härte bei ca. 100 HV. Die maximal erreichbare Schichtdicke beträgt etwa 30 μm.

Vorteile

• Cyanid- und ammoniakfrei
• Breites Arbeitsfenster
• Einfache Handhabung
• Hohe Resistkompatibilität
• Frei von Poren und strukturellen Defekten
• Gleichmäßige Schichtdickenverteilung
• Hohe Härte

Anwendungen

• Halbleiteranwendungen
• Advanced Packaging

Anwendung für Pillars und Gold

Säulenstruktur (Pillar) – 26 μm Au

Cu/Ni/Au Säule mit 1 μm Au