Elektrokatalytische Schichten erhöhen die Prozesssicherheit bei der Waferbeschichtung

Lösliche Anoden verändern ihre Abmessungen, weil sie sich im Betrieb auflösen – Titan- oder Edelstahlkathoden leiten Strom bei weitem nicht so optimal wie beispielsweise platinbeschichtete Kathoden. Beides hat Auswirkungen auf konstant gute Beschichtungsergebnisse – gerade aber in der hochpräzisen Waferbeschichtung ist dies von entscheidender Bedeutung. 

Keine Schwankungen in der Schichtdickenverteilung auf dem Wafer

Unsere maßgeschneiderten, Platin und MMO beschichteten Elektroden helfen – sowohl auf der Anoden- als auch Kathodenseite diese Schwankungen in den Beschichtungsergebnissen durch eine bestmögliche Streuung zu vermeiden. Gleichzeitig reduzieren sich zudem die Prozesskosten durch eine verbesserte Ausbeute.

Weitere Vorteile, wie ein verminderter Aufwand in der Prozesskontrolle oder deutlich geringere Stillstandszeiten, finden Sie in unserem Informationsflyer genau so wie Vergleiche zu herkömmlichen Elektroden.

Wir helfen Ihnen auf Ihrem Weg

Signifikante Prozessverbesserungen können Sie bereits durch recht einfache Anpassungen im Bereich der Elektroden an Ihrem Beschichtungssystem (im übrigen nicht nur in der Halbleiterproduktion) erreichen. Wie, erklärt Ihnen unser Vertriebsteam um Frank Friebel gerne und freut sich auf Ihre Kontaktaufnahme.

Frank Friebel
Vertrieb Elektrokatalytische Elektroden

E-Mail: frank.friebel@eu.umicore.com
Tel.: +49 7171 607 292
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